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深圳市谱赛斯科技有限公司

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高性能X射线荧光镀层测厚仪 FT150系列 让产品成本大大降低
发布时间:2019-07-10 11:47

产品简介

使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外,以X射线检测结构为中心,对各类元件进行最佳优化,从而大幅提高了检测灵敏度,在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。并且,对设备进行了重新设计,使得样本室的使用,以及对检测点的检查变得更为容易。

主要特点

1.显微领域的高精度检测

通过采用新开发的多毛细管,以及对探测器的优化,在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm(设想FWHM: 17 μm)的础上,进一步将处理能力提高到了2倍以上。

2.产品阵容适应各类检测样本

针对检测样本的不同种类,可在下列3种型号中进行选择。

  • 测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号

  • 能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电洛的大型印刷电洛用型号

  • 适合对陶瓷鞋电极部分中,过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号

3.兼顾易操作性与安全性

放大了开口,同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性,并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险,让用户放心使用。

4.检测部位可见

通过设置大型观察窗、修改部件布局,使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。

5.清晰的样本图像

使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头,采用全数码变焦,从而消除位置偏差,可以清晰地观察数十μm的微小样本。
另外,亦采用LED作为样本观察灯,无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。

6.新GUI

  • 将各类检测方法、检测样本都以应用程序图标的形式进行了登记。图标皆为检测样本的照片、多层膜的图示等,因此登记、整理起来就很方便,从而使得用户可以不走弯路,钟进行检测。

  • 使用检测向导窗口来指导操作。通过与检测画面联动,逐步引导用户执行当前所需进行的工作。

从左边开始、启动画面 <em></em>・易于操作的开口部 <em></em>・大开口的样本室门<em></em>・高灵敏度(Au光谱图示)


技术参数

image.png


选购项

  • 能谱匹配软件(材料辨别)

  • 块体FP(测量金属成分比)

  • 样品操作限制设置

  • 晶圆治具(FT150/FT150h)

  • 触摸板

  • 信号灯

  • 打印机

  • 紧急停止开关箱

  • 应用范围

    • 超薄镀层晶圆

    • 鞋载板

    • 导线框架及各类接插件

    • 超小型电子元器件

    • 纳米级鞋镀层工艺

    • 柔性线洛

  • 印刷洛及排插件中的ENIG、 ENEPIG、晶圆镀Ti、镀Cu、镀Al、陶瓷电容电阻镀Ni、镀Sn、半导体镀贵金属镀层厚度测量Rh、Ru、Pt、W

产品优势

FT150利用多毛细管所产生的照射直径为30 μm的缚度X射线光束,最适于导线架、微小连接器、柔性电洛等微小零件及超薄镀层的高精度分析评价。

FT150系列X射线荧光镀层厚度测量仪使用了最新的毛细管聚光技尸在原有产品的础上进行全方位优化,并大幅提高了检测灵命度,实现超高的处理能力。本系列中专门针对超大样品(600 mm*600 mm)开发设计了FT150L,拥有超大密闭样品室,在保证使用安全的同时,使检测更为便捷。
 
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