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真空开关
发布时间:2019-07-11 15:17
真空开关是一种检测真空度范围的开关,又称真空继电器。其作用是:当实际工作中所产生的真空度达到规定要求时,自动开闭控制电路,发出电信号,指令真空吸附机构正常动作。它属于可靠性、安全性元件。
真空开关分为机械式、半导体式和气桥式三种类型。机械式真空开关是利用机械变位来确定真空压力的变化,如膜片式真空开关。半导体式真空开关是利用半导体压力传感器来检测真空压力的变化,并能够将检测到的压力信号钟转换成电气信号。
 
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